| Titre : | Etude, Conception et Réalisation d'un Mécanisme de Déplacement Plan, Rapide et de Très Grande Résolution de Positionnement | | Type de document : | texte imprimé | | Auteurs : | S. RONCHI, Auteur | | Année de publication : | 2005 | | Langues : | Français (fre) | | Tags : | POSITIONNEMENT HAUTE RESOLUTION MACRO MICRO MECANISMES PARALLELES PLANS SINGULARITES LIAISONS FLEXIBLES STUDY DESIGN AND REALIZATION OF A FAST AND HIGH POSITIONING RESOLUTION PLANAR MOVING MECHANISM POSITIONING HIGH RESOLUTION MACRO MICRO PLANAR PARALLEL MECHANISMS SINGULARITY FLEXIBLE LINKS GENIE INFORMATIQUE, AUTOMATIQUE ET TRAITEMENT DU SIGNAL | | Index. décimale : | THE Thèses de doctorat | | Résumé : | Le développement des hautes technologies conduit les industries à se doter de moyens de production toujours plus performants. Pour l'industrie microélectronique, les processus de fabrication avancés requièrent des temps de cycle très faibles (inférieurs à 1 s) et des hautes résolutions de positionnement (meilleures que 50 nm). Ces moyens de fabrication comportent deux aspects distincts bien que fortement corrélés : le premier est le processus optique de photolithographie et le second est le processus de positionnement rapide et de haute résolution. C'est sur ce second aspect que porte ce travail. Nous nous intéressons à l'étude (modélisation géométrique et cinématique, optimisation), la conception et la réalisation d'un mécanisme de déplacement rapide et de très grande résolution de positionnement. Pour cela, nous basons nos recherches sur différents points qui sont développés conjointement : une structure de machine à deux étages macro/micro, une architecture parallèle plane pour chacun des deux étages, une couverture de l'espace de travail avec une configuration géométrique au voisinage des positions singulières, l'utilisation d'articulations flexibles permettant de s'affranchir des défauts usuels des liaisons conventionnelles (jeu, frottement, usure, ...), une chaîne métrologique découplée de l'actionnement pour la mesure, la prise en considération des phénomènes d'environnement extérieurs (température, humidité, vibrations, ...). A la suite de ces études, un démonstrateur a été conçu et réalisé afin de conduire des tests d'évaluation de performance et de valider les concepts développés dans ce manuscrit.
The development of high technologies leads industries to be equipped with means of production always more efficient. In the semiconductor industry, advanced manufacturing processes require very low time cycle (less than 1 s) and very high positioning resolution (better than 50 nm). These means of production are made of two distinct but strongly related aspects: the first one is the optical process of photolithography and the second one is the fast and high resolution positioning process. That is on this particular aspect that we focus in this work. We work on the study (geometrical and kinematical modelling, optimization), design and realization of a fast and high positioning resolution moving mechanism. Indeed, our researches focus on different points that will be developed altogether: a machine structure composed of two floors macro/micro, a planar parallel architecture for both floors, the workspace that is covered in a near singular positions geometrical configuration, flexible articulations to overcome the drawbacks of conventional links (wear, friction, backlash, ...), a metrological chain decoupled from the actuating one for measurements, the consideration of external environmental phenomena (temperature, humidity, vibrations, ...). Following these studies, a demonstrator has been designed, manufactured and assembled to be able to conduct tests of evaluation of performances and to validate the concepts developed in this manuscript. | | Directeur(s) de thèse : | FOURNIER A. | | Co-directeur(s) de thèse : | PIERROT F. | | Rapporteur(s) : | BEN OUEZDOU F. | | Examinateur(s) : | COMPANY O.;GOGU G.;FLEURENCEAU M. | | Date de soutenance : | 14/10/2005 |
Etude, Conception et Réalisation d'un Mécanisme de Déplacement Plan, Rapide et de Très Grande Résolution de Positionnement [texte imprimé] / S. RONCHI, Auteur . - 2005. Langues : Français ( fre) | Tags : | POSITIONNEMENT HAUTE RESOLUTION MACRO MICRO MECANISMES PARALLELES PLANS SINGULARITES LIAISONS FLEXIBLES STUDY DESIGN AND REALIZATION OF A FAST AND HIGH POSITIONING RESOLUTION PLANAR MOVING MECHANISM POSITIONING HIGH RESOLUTION MACRO MICRO PLANAR PARALLEL MECHANISMS SINGULARITY FLEXIBLE LINKS GENIE INFORMATIQUE, AUTOMATIQUE ET TRAITEMENT DU SIGNAL | | Index. décimale : | THE Thèses de doctorat | | Résumé : | Le développement des hautes technologies conduit les industries à se doter de moyens de production toujours plus performants. Pour l'industrie microélectronique, les processus de fabrication avancés requièrent des temps de cycle très faibles (inférieurs à 1 s) et des hautes résolutions de positionnement (meilleures que 50 nm). Ces moyens de fabrication comportent deux aspects distincts bien que fortement corrélés : le premier est le processus optique de photolithographie et le second est le processus de positionnement rapide et de haute résolution. C'est sur ce second aspect que porte ce travail. Nous nous intéressons à l'étude (modélisation géométrique et cinématique, optimisation), la conception et la réalisation d'un mécanisme de déplacement rapide et de très grande résolution de positionnement. Pour cela, nous basons nos recherches sur différents points qui sont développés conjointement : une structure de machine à deux étages macro/micro, une architecture parallèle plane pour chacun des deux étages, une couverture de l'espace de travail avec une configuration géométrique au voisinage des positions singulières, l'utilisation d'articulations flexibles permettant de s'affranchir des défauts usuels des liaisons conventionnelles (jeu, frottement, usure, ...), une chaîne métrologique découplée de l'actionnement pour la mesure, la prise en considération des phénomènes d'environnement extérieurs (température, humidité, vibrations, ...). A la suite de ces études, un démonstrateur a été conçu et réalisé afin de conduire des tests d'évaluation de performance et de valider les concepts développés dans ce manuscrit.
The development of high technologies leads industries to be equipped with means of production always more efficient. In the semiconductor industry, advanced manufacturing processes require very low time cycle (less than 1 s) and very high positioning resolution (better than 50 nm). These means of production are made of two distinct but strongly related aspects: the first one is the optical process of photolithography and the second one is the fast and high resolution positioning process. That is on this particular aspect that we focus in this work. We work on the study (geometrical and kinematical modelling, optimization), design and realization of a fast and high positioning resolution moving mechanism. Indeed, our researches focus on different points that will be developed altogether: a machine structure composed of two floors macro/micro, a planar parallel architecture for both floors, the workspace that is covered in a near singular positions geometrical configuration, flexible articulations to overcome the drawbacks of conventional links (wear, friction, backlash, ...), a metrological chain decoupled from the actuating one for measurements, the consideration of external environmental phenomena (temperature, humidity, vibrations, ...). Following these studies, a demonstrator has been designed, manufactured and assembled to be able to conduct tests of evaluation of performances and to validate the concepts developed in this manuscript. | | Directeur(s) de thèse : | FOURNIER A. | | Co-directeur(s) de thèse : | PIERROT F. | | Rapporteur(s) : | BEN OUEZDOU F. | | Examinateur(s) : | COMPANY O.;GOGU G.;FLEURENCEAU M. | | Date de soutenance : | 14/10/2005 |
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