PRESENTATION
:
Le terme "microsystème" (Micro Electro Mechanical System –
MEMS - en anglais) désigne l'assemblage dans un même
composant d'un actionneur, d'un capteur, et d'une électronique.
En fait, on parle encore de microsystème même si
l'assemblage ne comporte qu'un capteur ou un actionneur associé
à une électronique.
La différence entre un composant micro-électronique et un
composant microsystème réside dans le fait que ce dernier
ne réalise pas seulement une fonction électronique mais
intègre également une fonction mécanique qui
nécessite qu'un film mince soit partiellement
libéré du substrat. Les exemples les plus simples sont la
membrane et la micropoutre. Dans le cas d'un micro-actionneur, la
différence entre micro-électronique et
microsystème est encore plus marquée car il y a
génération d'un mouvement.
C'est au début des années 90 que les recherches sur les
microsystèmes ont démarré en France. Dès
1992, il y a eu la volonté de structurer ce domaine en mettant
en place le Programme Microsystèmes. Cet effort s'est poursuivi
avec la création du Laboratory for Integrated Micro Mechatronics
Systems (LIMMS) en 1995. Plus récemment, le Département
STIC a initié des Actions Spécifiques qui ont
débouché sur des Réseaux Thématiques
Pluridisciplinaires dont un sur les Microsystèmes et un autre
sur les RF MEMS. Aujourd'hui, la communauté Micro et Nano
Systèmes (MNS) est partagée en autant de secteurs
d'application et les chercheurs ont peu d'occasions de se rencontrer.
Le Comité d'Experts (CE) dans le domaine des MNS,
constitué par le Département STIC du CNRS à la fin
de l'année 2004, a identifié le besoin d'une animation
scientifique dans ce domaine et propose donc, en accord avec les
Départements STIC et SPI, la mise en place d'un Groupement de
Recherche (GDR) pour la concrétiser.
Cette communauté scientifique pluridisciplinaire est
évaluée par les sections 07, 08, 09 et 10 du
Comité National et par les sections 27, 28, 61, 63 du CNU.
|
